x射线仪器研发中心

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具有纳米分辨率的X射线三维成像显微镜
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射线源模块：该模块可实现射线源整体XY二维调节，其中沿光路Z方向可实现±25mm的调节，水平垂直光路X方向形成也为±25mm,且调节的精度均可达到：分辨率1微米；重复定位精度：±1微米； 
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样品模块：该模块底部为气浮转台，可实现高精度、高稳定性的旋转调节需求，转台的上侧为压电三维调节台，分辨率为0.5μm；样品架选用锡青铜的材质，样品座材质为铜，样品架与样品之间为点、线、面相切的连接方式，便于样品的换样；
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光学腔模块：为了实现光路方向的物理需求，该腔体设计为异型腔体，能满足氦气氛的实验需求，同时可根据腔体内运动轴的数量更换电气馈入接头的数量进而来满足多种情况下的实验需求，实现一腔多用； 
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探测器模块：该模块可实现射线源整体XYZ三维调节，其中沿光路Z方向可实现±25mm的调节，水平垂直光路X方向形成也为±25mm,垂直升降Y方向可实现±12.5mm的行程调节，且三维调节的精度均可达到：分辨率1微米；重复定位精度：±1微米；
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隔振平台：该模块主要由三大块组成，底部为大理石，具有隔振、减振、吸振的作用，大理石的左侧为射线源隔振平台，该平台为“弹簧+橡胶”的隔振组合，在实现隔振减振需求的同时，最大化的增加该平台的刚性，大理石右侧上端的探测器隔震平台也是采用的“弹簧+橡胶”的隔振组合；
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